- Естественные, Медицинские, Компьютерные Науки, Технология
- Информатика, ИТ
- Прикладное программное обеспечение
- Управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии
- Обложка Управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии
- Название книги:
-
Управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии
LAP LAMBERT Academic Publishing (2015-06-18 )
имеющий право на ваучер
- ISBN-13:
978-3-659-74421-1
- ISBN-10:
- 3659744212
- EAN:
- 9783659744211
- Язык Книги:
- Краткое описание:
- В работе рассмотрена задача построения робастного закона управления по выходу для системы со степенной нелинейностью. В качестве практического применения рассматривается задача регулирования температуры в быстрых термических процессах, характерных для газофазной эпитаксии. Решение задачи получено с использованием метода последовательного компенсатора. В работе формулируется ограничение на нелинейность, представляющее собой объединение секторной и степенной нелинейностей. Показано, что полиномиальная нелинейность соответствует введенному ограничению. С использованием аппарата функций Ляпунова доказывается асимптотическая устойчивость замкнутой системы для указанного типа нелинейности, что усиливает ранее известные результаты. Экспериментальное исследование процесса газофазной эпитаксии показало, что с применением предложенного метода удается обеспечить нулевое математическое ожидание ошибки слежения и среднеквадратичную ошибку температуры, не превышающую 1 К
- Издательский Дом:
- LAP LAMBERT Academic Publishing
- Веб-сайт:
- https://www.lap-publishing.com/
- By (author) :
- Капитонов Александр
- Количество страниц:
- 140
- Опубликовано:
- 2015-06-18
- Акции:
- В наличии
- Категория:
- Прикладное программное обеспечение
- Цена:
- 61.90 €
- Ключевые слова:
- Быстрые термические процессы, rapid thermal processing
