Обложка Управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии
Название книги:

Управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии

LAP LAMBERT Academic Publishing (2015-06-18 )

Books loader

Omni badge имеющий право на ваучер
ISBN-13:

978-3-659-74421-1

ISBN-10:
3659744212
EAN:
9783659744211
Язык Книги:
Русский
Краткое описание:
В работе рассмотрена задача построения робастного закона управления по выходу для системы со степенной нелинейностью. В качестве практического применения рассматривается задача регулирования температуры в быстрых термических процессах, характерных для газофазной эпитаксии. Решение задачи получено с использованием метода последовательного компенсатора. В работе формулируется ограничение на нелинейность, представляющее собой объединение секторной и степенной нелинейностей. Показано, что полиномиальная нелинейность соответствует введенному ограничению. С использованием аппарата функций Ляпунова доказывается асимптотическая устойчивость замкнутой системы для указанного типа нелинейности, что усиливает ранее известные результаты. Экспериментальное исследование процесса газофазной эпитаксии показало, что с применением предложенного метода удается обеспечить нулевое математическое ожидание ошибки слежения и среднеквадратичную ошибку температуры, не превышающую 1 К
Издательский Дом:
LAP LAMBERT Academic Publishing
Веб-сайт:
https://www.lap-publishing.com/
By (author) :
Капитонов Александр
Количество страниц:
140
Опубликовано:
2015-06-18
Акции:
В наличии
Категория:
Прикладное программное обеспечение
Цена:
61.90 €
Ключевые слова:
Быстрые термические процессы, rapid thermal processing

Books loader

Рассылка

Adyen::diners Adyen::jcb Adyen::discover Adyen::amex Adyen::mc Adyen::visa Adyen::cup Adyen::unionpay Adyen::paypal Paypal CryptoWallet Банковский перевод

  0 продуктов в корзине
Редактировать корзину
Loading frontend
LOADING