Buchcover von Anodisches Bonden
Buchtitel:

Anodisches Bonden

Ion, Elektrisches Feld

PlicPress (03.04.2012 )

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ISBN-13:

978-613-8-63575-8

ISBN-10:
6138635752
EAN:
9786138635758
Buchsprache:
Deutsch
Klappentext:
Bitte beachten Sie, dass dieser Titel überwiegend aus Inhalten besteht, die im Internet kostenlos erhältlich sind (z.B. aus der Wikipedia-Enzyklopädie). Anodisches Bonden ist ein Verbindungsverfahren, das besonders bei der Herstellung von Sensoren und mikromechanischen Bauelementen der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Anwendung kommt. Das Verfahren stellt sich wie folgt dar: Ein Silizium-Wafer mit einer polierten Oberfläche und ein sehr ebener Wafer aus Glas, das Alkaliionen enthält - also ähnlich wie Fensterglas, werden auf eine Heizplatte gelegt und diese auf ca. 300 bis 400 °C erwärmt.[1] Der Siliziumwafer liegt direkt auf der Heizplatte und darüber der Glas-Wafer. Nun wird auf den Glas-Wafer an einen Punkt eine Punktelektrode leicht aufgedrückt. Die Heizplatte ist die Gegenelektrode. Der Silizium-Wafer ist bei den Temperaturen ausreichend eigenleitend. Die Erwärmung bewirkt, dass die im Glas befindlichen Ionen, wie Kalium und Natrium sich freier bewegen können. Wird nun eine äußere Spannung so angelegt, dass der Glaswafer negativ und die Heizplatte positiv geladen wird, wandern die Ionen im Glas langsam zur Punktelektrode. Durch diesen Ladungstransport verringert sich an der Oberfläche des Glases zum Silizium-Wafer die Menge an Ionen, das heißt, dieser Bereich lädt sich negativ auf. Es entsteht eine Raumladungszone.
Verlag:
PlicPress
Webseite:
http://www.betascript-publishing.com
Herausgegeben von:
Janeka Ane Madisyn
Seitenanzahl:
56
Veröffentlicht am:
03.04.2012
Lagerbestand:
Lieferbar
Kategorie:
Geisteswissenschaften allgemein
Preis:
29,00 €
Stichworte:
Ion, Elektrisches Feld

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